耐蝕型循環式ケミカルヒーター
HEATEX PHseries
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PH series:標準仕様 PHシリーズへのリンク
 
ケミカルヒーターPHシリーズは、熱交換部の接液部が全てフッ素樹脂(PTFE)で構成されているため、強酸・混酸・アルカリ等の区別なく、あらゆる薬液を直接過熱することができます。
 半導体製造プロセス、液晶製造プロセスの処理容量に対応し、加熱能力として900W〜7200Wがラインナップしています。




PHL series:クーラー付加仕様 PHLシリーズへのリンク
 PHLシリーズは、ケミカルヒーターPHシリーズに冷却システムを追加したタイプです。工程処理中は薬液を高温で制御し、処理後の薬液の入れ替え及び廃液時に、薬液温度を冷却したい場合などに適しています。冷却システムのみのPLシリーズも用意してあります。
 薬液継手、接液部はすべてフッ素樹脂(PTFE)で構成されているため、強酸・混酸・アルカリ等の区別なく、あらゆる薬液を直接冷却・過熱することができます。


 
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